Na temelju svojih principa rada, senzori tlaka mogu se kategorizirati u nekoliko tipova, uključujući keramičke kapacitivne, metalne kapacitivne, tanko{0}}filmske mjerače napetosti, mjerače napetosti, silikonske piezorezistivne, silikonske kapacitivne i silikonske rezonantne tipove. Među njima, rezonantni senzori tlaka nude najveću točnost, postižući preciznost do 0,01% FS u cijelom temperaturnom rasponu (-40 stupnjeva do 85 stupnjeva). Zbog svoje iznimne točnosti naširoko se koriste u aplikacijama koje zahtijevaju izuzetno visoku preciznost tlaka, kao što su mjerenje dubine oceana, referentni standardi tlaka, mjerenje parametara leta zrakoplova i meteorološko praćenje. Razlozi zašto silikonski rezonantni senzori tlaka postižu tako visoko precizno mjerenje tlaka su sljedeći:
1. Struktura jezgre silikonskog rezonantnog senzora tlaka je simetrični dvostruko-stegnuti silikonski rezonator. Rezonantna frekvencija rezonatora mijenja se s primijenjenim pritiskom. Budući da je frekvencija intrinzično svojstvo čvrstih tijela, ono je manje osjetljivo na nisko-šumove frekvencije i pokazuje minimalne varijacije s temperaturom. Ovaj prirodni učinak filtriranja rezultira visokim omjerom-signala i-šuma.
2. Dvostruko -stegnuta struktura rezonatora osigurava da kada rezonator vibrira, neto vanjska sila bude nula. Dodatno, zbog upotrebe MEMS tehnologije anodnog spajanja, cijeli rezonator radi u vakuumskom okruženju, postižući visok faktor kvalitete.
3. Tijekom procesa projektiranja, strukture za-otpuštanje naprezanja ugrađene su u toplinski osjetljiva područja rezonatora kako bi se minimalizirao toplinski stres. Ovo značajno smanjuje toplinski stres na rezonatoru.
Silicijski rezonantni senzori tlaka tvrtke Xi'an Mihui Technology postižu visoko{0}}precizno mjerenje tlaka s točnošću od 0,01% FS u cijelom temperaturnom rasponu. Oni nude neusporedivu godišnju stabilnost od 0,01% FS i podržavaju i frekvencijski izlaz i RS485 digitalni izlaz. Ovi senzori pokrivaju mjerenja apsolutnog tlaka od 100 kPa do 1 MPa. Specifikacije su sljedeće:
Zainteresirane strane su dobrodošle da nas kontaktiraju putem informacija navedenih na našoj web stranici.
